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  • 半導(dǎo)體Chiller設(shè)備的面向半導(dǎo)體制造過程的解決方案

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    在半導(dǎo)體制造過程中，單一工藝環(huán)節(jié)往往涉及多個(gè)溫控點(diǎn)，且各溫控點(diǎn)的需求存在差異。半導(dǎo)體 Chiller 設(shè)備通過模塊化設(shè)計(jì)與協(xié)同控制邏輯，實(shí)現(xiàn)了對(duì)多個(gè)溫控目標(biāo)的準(zhǔn)確管理，為復(fù)雜工藝場(chǎng)景提供了溫度解決方案

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