半導(dǎo)體薄膜沉積水冷機制冷循環(huán)穩(wěn)定性、流體傳輸特性與控制策略優(yōu)化

2025 年 7 月 10 日 315

在半導(dǎo)體薄膜沉積工藝中，薄膜沉積水冷機CVD chiller通過循環(huán)液的熱量交換維持反應(yīng)腔室、靶材及相關(guān)部件的溫度穩(wěn)定，其核心由制冷循環(huán)、循環(huán)液回路、控制系統(tǒng)及輔助組件構(gòu)成。

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